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本仪器是以光切法测量另件加工表面的微观不平度。其能判断别国家标准GB 1031-68所规定▽3-▽9级表面光洁度。
对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。
光切法特点是在不破坏表面的状况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。
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测量范围不平度平均高度值 |
﹥0.8～1.6微米 |
>1.6～6.3微米 |
>6.3～20微米 |
>20～80微米 |
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表面光洁度级别 |
9 |
8～7 |
6～5 |
4～3 |
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所需物镜 |
60倍N.A.0.55 |
30倍N.A.0.40 |
14倍N.A.0.20 |
7倍N.A.0.12 |
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总放大倍数 |
510× |
260× |
120× |
60× |
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物镜组件工作距离 |
0.04mm |
0.2mm |
2.5mm |
9.5mm |
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视场 |
0.3mm |
0.6mm |
1.3mm |
2.5mm |
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摄影装置放大倍数 |
约6× |
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测量不平度范围 |
（0.8～80）微米 |
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不平度宽度 |
用测微目镜 |
0.7微米～2.5mm |
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用座标工作台 |
（0.01～13）mm |
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仪器重量 |
约23kg |
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外形尺寸 |
约180×290×470mm | |